میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، میکروسکوپ پروبی روبشی (SPM) و میکروسکوپ رامان از جمله تجهیزات تصویربرداری نانویی هستند که در داخل کشور تولید می‌شوند.
شرکت توسعه فناوری شریف سولار، SEM با قابلیت مطالعه‌ی مورفولوژی و ترکیب شیمیایی سطح و همچنین تعیین ضخامت لایه‌های نازک پوشش‌دهی شده روی یک زیرلایه، را تولید و به بازار عرضه می‌کند. این میکروسکوپ الکترونی دارای قدرت تفکیک ۲۰ نانومتر بوده و از بیشینه بزرگنمایی ۱۰۰ هزار برابر برخوردار است و با کمک تفنگ الکترونی حرارتی تنگستنی خود امکان تصویربرداری از مواد مختلف را فراهم می‌کند. ولتاژ ۱ تا ۳۰ کیلوالکترون ولت این میکروسکوپ شرایط را برای مطالعه طیف وسیعی از ترکیبات شیمیایی فراهم می‌کند. این دستگاه مجهز به پمپ‌های روتاری و توربومولکولار است.
شرکت نانو سیستم پارس که بیش از یک دهه سابقه تولید و عرضه میکروسکوپ‌های STM و AFM را دارد در حال حاضر میکروسکوپ‌هایی برای مقاصد تحقیقات و همچنین میکروسکوپ‌های ویژه برای بخش آموزش تولید می‌کند. تجهیزات SPM این شرکت امکان تصویربرداری سه‌بعدی از توپوگرافی نمونه‌ها برای مطالعه شاخص‌هایی نظیر زبری، اندازه دانه، ارتفاع پله‌ها و ناهمواری‌ها را داشته و همچنین جزئیات جالب توجهی درباره سایر مشخصات نمونه نظیر میدان مغناطیسی، ظرفیت خازنی، اصطکاک و فاز ارائه می‌دهد. تحقیق و دست‌کاری سطوح تا مقیاس اتمی و نانولیتوگرافی، نوشتن در مقیاس نانو، جابجایی اتم‌ها یا مولکول‌ها و ایجاد ساختارهای مصنوعی از دیگر توانمندی‌های میکروسکوپ‌های SPM ساخته شده توسط این شرکت است.
شرکت تکفام سازان طیف نور میکروسکوپ رامان برای شناسایی مولکول‌ها و مطالعه پیوندهای شیمیایی تولید و به بازار عرضه می‌کند که محدوده طیفی بین ۲۰۰ تا ۹۰۰ نانومتر و قدرت تفکیک طیفی ۱٫۳ نانومتر دارد. این طیف‌سنج رامان می‌تواند برای مطالعه دسته وسیعی از نانوذرات تا محصولات نهایی نظیر نانوکامپوزیت‌های مختلف پلیمری استفاده شود. مطالعه برخی آلوتروپ‌های کربن نظیر گرافن و همچنین آنالیز خواص مولکولی لایه‌ها و سطوح نانویی باز جمله کاربردهای این میکروسکوپی رامان در حوزه فناوری نانو است.
علاوه بر ساخت میکروسکوپ‌های الکترونی، برخی تجهیزات جانبی این میکروسکوپ‌ها نیز در داخل کشور تولید می‌شود. شرکت فناوری خلاء کهربا دوربین‌های ویژه‌ای برای میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) ساخته است که چندین مرکز تحقیقاتی و دانشگاهی از این دوربین‌ها برای بهبود کارایی میکروسکوپ‌های TEM خود استفاده می‌کنند. این دوربین‌ها توانمندی میکروسکوپ TEM را در ارائه تصاویر بهتر ارتقاء داده و همچنین سرعت تصویربرداری را افزایش داده‌اند.
در حوزه نانو، چه میکروسکوپ‌های ایرانی داریم؟
