دستگاه لیتوگرافی تماسی ماورابنفش بهمنظور انتقال الگو از ماسک شیشهای یا تلقی روی ماده فوتورزیست با استفاده از نور ماورابنفش برای کاربرد محدود عرضه شده است. در این فرایند یک لایه پلیمری حساس به نور روی سطح یک زیرلایه رسوب داده شده و سپس پرتو نور از یک ماسک نوری عبور کرده و طرحی روی پلیمر ایجاد میکند. پس از ایجاد طرح روی پلیمر واسط و انجام یک سری فرایندهای شیمیایی، طرح از طریق نواحی نوردیده با مقاومت در برابر خوردگی به لایه زیرین منتقل میشود. تنها تفاوت این روش با تکنیک لیتوگرافی نوری این است که در این روش ماسک حاوی الگوی موردنظر در تماس با سطح نمونه قرار میگیرد.
دستگاه لیتوگرافی تماسی ماورای بنفش
اطلاعات بیشتر
| تولیدکننده | |
|---|---|
| استان محل تولید | |
| شهر محل تولید |
