میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، دستگاهی است که بررسی و مشاهده ساختار سطحی مواد را امکان‌پذیر می‌نماید. با توجه به اینکه میکروسکوپ‌های نوری قادر به نمایش بزرگنمایی‌های بیش از ۱۰۰۰ برابر با وضوح مناسب نیستند، مطالعه ساختارهایی که به بزرگنمایی‌های بالاتر نیاز دارند مستلزم استفاده از SEM است که مشاهده مورفولوژی ریزساختارهای میکرونی و نانومتری را امکان‌پذیر می‌کند. اصول کار SEM به اختصار به این صورت است که ابتدا یک باریکۀ الکترونی توسط تفنگ الکترونی ایجاد می‌شود؛ باریکه ایجادشده در ادامه با استفاده از لنزهای مغناطیسی و روبشگر، متمرکز شده و به سطح ماده برخورد می‌کند. الکترون‌هایی که از سطح نمونه جدا می‌شوند توسط آشکارساز الکترون ثانویه جذب و تبدیل به سیگنال الکتریکی شده و در نهایت به‌صورت تصویری از کنتراست نمایش داده می‌شود.