رویهنگار اپتیکی سطح با استفاده از فناوری تداخلسنجی نور سفید به بررسی رویه اجسام میپردازد؛ به این صورت که با ترکیب منبع نور سفید، سیستم اپتیکی، جابهجاگر پیزوالکتریک و سنسور CCD و تحلیل تصاویر آنها، فاصله شیئی تا اجسام مشخص میشود. بازه اندازهگیری این روش از مرتبه نانومتر تا میلیمتر است. دقت اندازهگیری در این روش وابسته به همدوسی منبع نور، دقت و تکرارپذیری استیج عمودی، مقاومت در برابر لرزش، بازتاب پذیری و زبری سطح نمونه و خطای سنسور است. با در نظر گرفتن تمامی این فاکتورها، دستگاه رویهنگار اپتیکی با استفاده از تداخل نور سفید دارای دقت 5 نانومتر در راستای محور Z است. در این سیستم نمونه موردبررسی بر روی استیج در راستای عمودی حرکت مینماید و تصویر از سطح نمونه شامل تداخل آن با آینه مرجع ثبت میشود و پس از جاروب کل سطح، توسط جابهجاگر پیزوالکتریک و تحلیل تصاویر ابر نقاط (Cloud of Points) سطح به دست میآید. خروجی ابر نقاط با نرمافزارهای استاندارد پروفایلومتری قابلنمایش خواهد بود.
