یکی از تجهیزاتی که اخیراً بر مبنای پدیده پراش توسعه داده شده است؛ همگنسازی لایهنازک با استفاده از پراش فرنل است. اجزای اصلی این روش شامل لیزر، موازیساز نور (collimator)، گونیامتر (goniometer)، نگهدارنده نمونه، دوربین CCD و ماژول نرمافزاری است. در این روش از یک لیزر بهعنوان منبع نور تکفام استفاده میشود. نور لیزر سپس وارد یک کلیماتور میشود تا پرتوهای آن موازی شود. سپس پرتوهای نور به نمونه لایهنشانیشده برخورد میکنند. بهدلیل وجود پله (اختلاف ارتفاع بین سطح لایهنشانیشده و سطح زیرلایه)، انعکاس پرتوها از نمونه موجب ایجاد اختلاف فاز میشود. با تغییر زاویه گونیامتر الگوهای پراش فرنل بر روی دوربین CCD افکنده میشود. دوربین CCD تصاویر آنالوگ الگوهای پراش را به تصاویر دیجیتال تبدیل کرده و در اختیار ماژول نرمافزاری قرار میدهد. در نهایت به کمک روابط ریاضی پراش، امکان محاسبه ارتفاع پله و ضخامت لایههای پوششدادهشده امکانپذیر میشود.
