پروفایلومتر

پروفایلومتر یکی از ابزارهای کلیدی در آزمایشگاه‌های لایه‌نازک است که به کمک آن می‌توان برخی مشخصه‌های سطحی نظیر زبری، انحنا، پستی و بلندی‌ها را تعیین کرد. مکانیزم عملکرد پروفایلومتر شبیه مد تماسی میکروسکوپ نیروی اتمی است؛ به این صورت که پروب (سوزن) در تماس با سطح نمونه قرار گرفته و با اعمال یک نیروی معین به سطح در طول یک خط مستقیم سطح نمونه را روبش می‌کند. مشخصه‌های سطحی از قبیل زبری، پستی و بلندی‌ها سبب بروز جابه‌جایی‌های جزئی در پروب می‌شود. این جابه‌جایی‌ها توسط یک حسگر ثبت و در ادامه به داده‌های کمی تبدیل می‌شود. پروفایلومتر ساخت شرکت توسعه فناوری شریف سولار در دو مدل PFM-5010 و PFM-5020 ارائه شده است. فناوری به کار رفته در مدل PFM-5020 امکان اندازه‌گیری در راستای محور Z با دقت ۵۰ نانومتر را فراهم می‌کند. دقت اندازه‌گیری در مدل PFM-5010 در راستای محور Z معادل ۱۵۰ نانومتر است.