دستگاه نیمهاتوماتیک لیتوگرافی کامل با یکپارچهکردن تجهیزات لازم (سیستم پوششدهی دورانی، نوردهی و پخت) برای انجام فرایند لیتوگرافی باعث کاهش هزینه و زمان لازم برای انجام فرایند میشود. علاوه بر این بهدلیل انجام فرایندهای پوششدهی و پخت در محفظه ایزوله، میزان آلودهشدن نمونه بسیار کاهش مییابد. با توضیحات فوق پرواضح است که اولین مرحله فرایند لیتوگرافی پوششدهی فوتورزیست بر روی نمونه است به طوری که لایه کاملاً یکنواختی را روی نمونه ایجاد کند. در مرحله بعد برای اینکه فوتورزیست پیش از نوردهی پیوندهای محکمی داشته باشد و حلال موجود در آن تبخیر شود لازم است نمونه چند دقیقه حرارت داده شود که به این عمل پیش پخت گفته میشود. در ادامه از یک پرتو نور ماورای بنفش برای انتقال الگو از ماسک به فوتورزیست استفاده میشود. پس از آن یک مجموعه فرایندهای شیمیایی باعث انتقال الگو به ویفر میشوند.
دستگاه نیمهاتوماتیک لیتوگرافی کامل
اطلاعات بیشتر
| تولیدکننده | |
|---|---|
| استان محل تولید | |
| شهر محل تولید |
