دستگاه لیتوگرافی رومیزی، مبتنی بر روش لیتوگرافی نوری، ابزاری کارآمد برای انتقال طرح و الگوهای پیچیده از ماسک به نمونه با دقت بسیار بالاست. هسته مرکزی این دستگاه سیستم نوردهی است که از نور ماورای بنفش برای این منظور استفاده میکند. لیتوگرافی نوری در اصل تعمیمیافته عکاسی است. ابتدا چیزی شبیه نگاتیو عکاسی (ماسک) از شِمای مدار مجتمع تهیه میشود. این ماسک برای تکثیر طرح روی یک ماده نیمههادی به کار گرفته میشود. سپس لیتوگرافی نوری، در فرایندی شبیه آنچه در تاریکخانه عکاسی اتفاق میافتد، ابعاد طرح را کوچک میکند. برای این کار یک دسته پرتو نور از ماسک عبور میکند و با استفاده از یک عدسی، تصویری روی سطح (ویفر) تشکیل میدهد. روی ویفر با لایهای از جنس پلیمرهای آلی حساس به نور (فوتورِزیست) پوشانده شده است. قسمتهایی که نور دیدهاند در فرایند تثبیت، حذف میشوند و طرحی معادل طرح اولیه روی سطح پدیدار میشود.
