در ساخت اغلب ادوات نیمههادی چندین لایه روی هم الگودهی میشوند و در نتیجه چندین مرحله لیتوگرافی باید انجام شوند که الگودهی هر مرحله باید منطبق با الگوی پیشین باشد. در نتیجه استفاده از دستگاه تطبیق ماسک بسیار ضروری است. دستگاه تطبیق ماسک یکطرفه با داشتن سیستم مکانیکی دقیق برای جابهجایی نمونه و میکروسکوپهای دقیق این امر را ممکن میسازد. علاوه بر دستگاه تطبیق ماسک یکطرفه، برای ساخت ادواتMEMS لازم است زیر نمونه نیز دیده شود و تطبیق دوطرفه موردنیاز است. دستگاه تطبیق ماسک دوطرفه نیز مشابه دستگاه تطبیق ماسک یکطرفه هر کدام در دو مدل مجزا،از یک سیستم مکانیکی برای جابهجایی نمونه با دقت میکرومتری و یک میکروسکوپ نوری برای مشاهده الگوی نمونه و ماسک از بالا و پایین تشکیل میشود.
دستگاه تطبیق ماسک یکطرفه و دوطرفه
اطلاعات بیشتر
| تولیدکننده | |
|---|---|
| استان محل تولید | |
| شهر محل تولید |
