سیستم اسپری پیرولیز

استفاده از روش اسپری پیرولیز روشی بسیار متداول در ساخت لایه‌های نازک است. در این روش قطرات محلول با سرعت زیادی از نازل اسپری به‌سمت یک سطح داغ پاشش می‌شوند و به‌صورت یکنواخت و با ضخامت‌هایی حتی در محدوده ۱۰ نانومتر روی سطح می‌نشینند. در طراحی این دستگاه با دو مدل، سعی شده است تا اثرات مربوط به خود صفحه داغ که در سایر دستگاه‌ها زیاد است به حداقل برسد. انتخاب شیشه ضدشوک برای صفحه داغ بدین منظور بوده است. این شیشه مقاومت شیمیایی خیلی زیادی دارد و از برهم‌کُنش با موادی که اسپری می‌شوند مصون است. به‌منظور جذب کامل طیف نوری المنت‌های گرمایی و بالا‌بردن سرعت گرمایش، یک لایه جاذب از جنس نانوذرات فلزی، لایه‌نشانی شده است. همچنین این دستگاه دارای دو محدوده توان بالا و پایین است که می‌تواند دما را تا ۴۵۰ درجه سانتی‌گراد بالا ببرد و امکان استفاده از دستگاه به‌جای کوره‌های متداول را نیز فراهم کند.