با استفاده از این دستگاه ایجاد تغییرات در مقیاس نانومتری در سطح امکانپذیر میشود. پلاسما دارای ذراتی پرانرژی است که میتوان این ذرات را در حضور میدانهای الکتریکی شتاب داده و بهسمت سطوح هدایت کرد. لذا میتوان برای اصلاح سطحی منسوجات، حکاکی، تمیزسازی، پلیمریزاسیون، رسوبگذاری و تولید ساختارهای نانویی از آن استفاده کرد. برخورد ذرات پرانرژی پلاسما و واکنش آنها با سطح مواد باعث ازهمگسیختگی زنجیرها و ایجاد رادیکالهای آزاد میشود، در حالی که خصوصیات مواد ثابت باقی میماند.
