دستگاه لایه‌نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما

از جمله روش‌های لایه‌نشانی شیمیایی بخار که برای پوشش‌دهی قطعات و ابزارهای صنعتی مورد‌توجه خاصی قرار گرفته است، روش لایه‌نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما (PACVD) است. در این فرایند، نمونه‌ها ابتدا در محیط پلاسمای گاز خنثی مانند آرگون، تمیزکاری سطحی شده و دمای آن‌ها تا مقدار موردنظر افزایش می‌یابد. سپس گازهای واکنش‌گر که مخلوطی از گازهای نیتروژن، هیدروژن، آرگون و TiCl4 با نسبت‌های معین است وارد محفظه می‌شود؛ در نهایت لایه‌نشانی با کنترل پارامترهایی همچون دما، زمان، فشار، فرکانس و عرض پالس صورت می‌گیرد. استفاده از این روش ساخت پوشش‌های تک‌لایه یا چند لایه دوتایی، سه‌تایی و چهارتایی نظیر TiN ،‌TiC ،CNTi TiAlN ،TiBN ،‌TiAlCN و… را امکان‌پذیر می‌کند. از جمله مزیت‌های این روش، امکان انجام فرایند نیتراسیون و متعاقب آن فرایند لایه‌نشانی است که باعث ایجاد پوشش‌های فوق‌سخت می‌شود. همچنین این روش ضمن حفظ کیفیت لایه‌نشانی دارای سرعت لایه‌نشانی بالاتری در مقایسه با سایر روش‌هاست. این دستگاه در دو مدل با مشخصات فنی متفاوت تولید می‌شود.