یکی از روشهای متداول ساخت لایههای نازک، لایهنشانی فیزیکی از فاز بخار به روش تبخیر حرارتی است. دستگاه لایهنشانی تبخیر حرارتی ساخت شرکت نانوحسگرهای هوشمند لوتوس برای انجام فرایندهای لایهنشانی مرتبط با ساخت حسگرهای پیشرفته الکترونیکی مانند حسگرهای امپدانسی، الکتروشیمی، شتابسنجهای MEMS، زیست حسگرهای مبتنی بر میکروفلوئیدیک و… طراحی و ساخته شده است. از ویژگیهای این سیستم لایهنشانی که آن را از سایر دستگاههای لایهنشانی ساخت داخل متمایز میکند، یکنواختی پوشش ایجاد شده و تکرارپذیری بسیار بالای فرایند لایهنشانی به واسطه استفاده از سیستمهای کنترلی پیشرفته است؛ یکنواختی بالای پوشش و تکرارپذیری فرایند لایهنشانی در ساخت حسگرها از اهمیت بسیار بالایی برخوردار است و ساخت حسگرهایی با کمترین میزان اختلاف با یکدیگر (کمتر از 0٫25درصد) مستلزم کنترل دو مشخصه فوق میباشد.
