دستگاه لایهنشانی اسپاترینگ مغناطیسی در مدلهای متنوع DC/RF ابزاری کارآمد برای لایهنشانی طیف وسیعی از مواد رسانا و عایق است. اسپاترینگ یک فرایند غیرحرارتی است که منجر به رسوب اتمهای جداشده تارگت بر روی زیرلایه میشود. در این سیستمها، یک میدان مغناطیسی خارجی برای اصلاح پلاسما و افزایش نرخ کندوپاش استفاده میشود. در اسپاترینگ DC کاتد به یک منبع تغذیه مستقیم (DC) متصل میشود. این نوع اسپاترینگ برای مواد رسانا مناسب است اما در مورد مواد عایق با محدودیتهایی مواجه است، چرا که سطوح مواد عایق میتوانند بهصورت الکتریکی پلاریزه شوند و به این ترتیب ادامه فرایند پوششدهی را با مختل مواجه کنند. در این موارد استفاده از اسپاترینگ RF میتواند مشکل را برطرف نماید؛ چرا که تغییر قطبیت در اسپاترینگ RF در هر چرخه میتواند بار الکتریکی تجمع یافته بر روی سطوح را خنثی سازد.
دستگاه لایهنشانی اسپاترینگ مغناطیسی DC/RF (سری Omega)
اطلاعات بیشتر
| تولیدکننده | |
|---|---|
| استان محل تولید | |
| شهر محل تولید |
