دستگاه لایه‌نشانی ترکیبی به کمک لیزر پالسی و تبخیر حرارتی

دستگاه لایه‌نشانی ترکیبی به کمک لیزر پالسی و تبخیر حرارتی مدل PLD-T یک سیستم لایه‌نشانی خلأ بالاست که قادر به لایه‌نشانی رنج وسیعی از مواد با استفاده از لیزر پالسی (لایه‌نشانی لیزر پالسی) و یا تبخیر حرارتی است. در روش لایه‌نشانی با استفاده از لیزر پالسی، منبع تبخیر (لیزر) در خارج از محفظه قرار داده می‌شود و پرتو لیزر از طریق یک پنجره تحت زاویه مناسب به سطح هدف که در حال دوران است، برخورد کرده و اتم‌های جدا شده از سطح هدف روی زیر لایه نشانده می‌شوند. در این روش پالس لیزر با زمان خیزش کمتر از چند نانوثانیه به ماده موردنظر تابانده شده و موجب تبخیر ماده موردنظر بدون تغییر استوکیومتری می‌شود. به‌علاوه سیستم دارای یک منبع تبخیر حرارتی با قابلیت فعال‌سازی سه بوته یا بسکت بوده و امکان انجام لایه‌نشانی به روش تبخیر حرارتی برای کاربردهای لایه‌نازک را نیز فراهم می‌کند.