لایهنشانی به روش تبخیر حرارتی فرایندی است که در محیط خلأ و به کمک اعمال جریان الکتریکی برای تبخیر ماده منبع صورت میگیرد و هدایت و انتقال ماده تبخیر شده بهسمت زیرلایه بر اساس اختلاف فشار میان محلی که ماده منبع و زیرلایه قرار دارد، اتفاق میافتد. در این روش، ماده منبع که بهعنوان پوشش استفاده میشود (مانند یک قطعه فلز) در یک ظرف (بوته) که با نام قایقک یا فیلامان نیز شناخته میشود و از جنس فلزات مقاوم است، قرار میگیرد. با عبور جریان برق از قایقک یا بوته و داغشدن ماده موردنظر بهعنوان ماده منبع و تبخیر آن در محیط خلأ، بهدلیل اختلاف فشاری که بین محل بوته و محل زیرلایه وجود دارد، یک لایه بسیار نازک بر روی زیرلایه قرار میگیرد. این دستگاه با مدل DTT در ساخت لایههای نازک رسانای الکتریسیته، ساخت پوششهای چندلایه و لایهنشانی از فلزات، سرامیکها و نیمهرساناهاست.
