دستگاه لایهنشانی چندمنظوره در خلأ مجهز به فناوری اسپاترینگ مغناطیسی، امکان تبخیر طیف وسیعی از مواد و لایهنشانی بر روی انواع زیرلایه با جنسهای متفاوت را امکانپذیر میسازد. اسپاترینگ مغناطیسی متداولترین روش اسپاترینگ است که در آن میدان مغناطیسی به موازات سطح کاتد اعمال میشود. این عمل باعث میشود تا الکترونها بهجای طی مسیر بهصورت مستقیم، بهصورت مارپیچی حرکت کنند. در این صورت، علاوه بر اینکه الکترونها پرانرژیتر میشوند، مسیر بیشتری را طی کرده و اتمهای بیشتری از ماده منبع را یونیزه میکنند. بنابراین میدان مغناطیسی، پلاسما را در اطراف سطح منبع محدود میکند که این دام الکترونی، آهنگ برخورد بین الکترونها و مولکولهای گاز که کندوپاش را به عهده دارند افزایش میدهد و سبب میشود که لایهنشانی در فشارهای پایینتر قابلانجام شود.
دستگاه لایهنشانی چند منظوره در خلأ
اطلاعات بیشتر
تولیدکننده | |
---|---|
استان محل تولید | |
شهرک صنعتی |