سامانه پوشش‌دهی و پخت

اولین مرحله فرایند لیتوگرافی اسپین‌کردن فوتورزیست بر روی نمونه است به‌طوری که لایه کاملاً یکنواختی را روی نمونه ایجاد کند. زیرا نور منبع در فاصله کانونی ثابت و دقیقی متمرکز می‌شود و اگر سطح نمونه یکنواخت نباشد ممکن است نور در بعضی قسمت‌ها متمرکز نباشد و عمل نوردهی به‌درستی انجام نشود. سرعت چرخش دستگاه اسپینر نقش کلیدی در این مرحله ایفا می‌کند. در مرحله بعد برای اینکه فوتورزیست پیش از نوردهی پیوندهای محکمی داشته باشد و حلال موجود در آن تبخیر شود لازم است نمونه چند دقیقه حرارت داده شود که به این عمل پیش‌پخت گفته می‌شود. مراحل پخت فوتورزیست‌های پلیمری از نظر کنترل دما و زمان پخت از اهمیت بالایی برخوردار است.