لایهنشانی تبخیر فیزیکی با قوس کاتدی یک فرایند صنعتی است که بهطور گسترده برای اعمال پوششهای لایهنازک با کیفیت بالا مورداستفاده قرار میگیرد. این فرایند تحت شرایط خلأ انجام میشود. لایهنشانی تبخیر فیزیکی با قوس کاتدی میتواند در مدهای DC و یا پالسی انجام شود. در هریک از حالتهای مذکور، ولتاژ ایجاد شده توسط منبع تغذیه باعث ایجاد قوس الکتریکی بین آند و کاتد میشود. جریان قوس بر روی سطح بسیار کوچکی از کاتد متمرکز شده و چگالی جریان بسیار بالایی ایجاد میکند. این چگالی جریان بالا با چگالی بالای توان همراه شده و از طریق یک استحاله فازی موضعی در سطح تارگت (کاتد) باعث یونیزهشدن کامل سطح و ایجاد پلاسمای رسوبدهی میشود. پلاسمای ایجاد شده بهسرعت به طرف زیرلایه (آند) گسترش یافته و بر روی زیرلایه رسوب میکند.
