دستگاه لایهنشانی فیزیکی بخار با فناوری هیبریدی بهدلیل بهرهگیری از فناوریهای اسپاترینگ و تبخیر حرارتی با قوس کاتدی میتواند بهعنوان ابزاری مناسب برای ساخت پوششهای مختلف مورداستفاده قرار گیرد. در روش اسپاترینگ، بیشتر تمرکز بر روی بمباران یونی تارگت است که اساساً روشی غیرحرارتی قلمداد میشود، در حالی که در لایهنشانی قوس کاتدی یک قوس الکتریکی وظیفه گرمایش موضعی تارگت را بر عهده دارد. در فرایند لایهنشانی قوس کاتدی ولتاژ ایجاد شده توسط منبع تغذیه باعث ایجاد قوس الکتریکی بین آند و کاتد میشود. جریان قوس بر روی سطح بسیار کوچکی از کاتد متمرکز شده و چگالی جریان بسیار بالایی ایجاد میکند. این چگالی جریان بالا با چگالی بالای توان همراه شده و از طریق یک استحاله فازی موضعی در سطح تارگت (کاتد) باعث یونیزهشدن کامل سطح و ایجاد پلاسمای رسوبدهی میشود. پلاسمای ایجادشده بهسرعت به طرف زیرلایه (آند) گسترش یافته و بر روی زیرلایه رسوب میکند.
