مروری بر کاربردها و فناوری‌های به‌روز دستگاه کندوپاش یونی (Sputtering)

مروری بر کاربردها و فناوری‌های به‌روز دستگاه کندوپاش یونی (Sputtering)

کندوپاش به‌عنوان یکی از روش‌های لایه‌نشانی فیزیکی در مقایسه با سایر روش‌های لایه‌نشانی به علت قابلیت لایه‌نشانی در مقیاس بزرگ و همچنین قابلیت کنترل نوع لایه‌نشانی، نسبت به سایر روش‌های لایه‌نشانی برای کاربردهای صنعتی موردتوجه بیشتری قرار گرفته است. یکی از نقاط ضعف این روش سرعت پایین لایه‌نشانی است که به‌منظور افزایش نرخ لایه‌نشانی از روش‌هایی مانند کندوپاش مغناطیسی استفاده می‌شود. امروزه با گسترش فناوری نانو، این سیستم در سنتز و تولید پوشش‌های نانومتری در صنعت کاربرد فراوانی پیدا کرده است. خوشبختانه این روش با توجه به استقبال صنعتگران در حوزه‌های مختلف، در کشور ما نیز درحال‌توسعه و پیشرفت است. در این گزارش به بررسی روش کندوپاش پرداخته می‌شود.