تولید و صادرات دستگاههای نانولایه نشانی ایرانی

شرکـت پوشش‌های نانوساختـار با بیـش از ۲۰ سال تجـربه در زمـینه طـراحــی و سـاخت انــواع سیستم‌های لایه‌نشانی در خلأ از پیشگامان این حوزه در ایران به شمار می‌رود. محصولات شرکت پوشش‌های نانوساختار تمامی نیازهای مراکز دانشگاهی، تحقیقاتی و صنعتی کشور را در زمینه سیستم‌های لایه‌نشانی در خلأ شامل انواع محـفظه‌ها، انواع کاتدهای اسپاترینگ، لایه‌نشانی به روش تبخــیر حرارتی، PLD، تفنگ الکترونی، انواع اتصالات، ضخامت‌سنج کریستالی، انواع فشارسنج‌ها، پمپ‌های روتاری، توربو، انواع شیرهای خلأ و… را تأمین می‌کند.

مطابق اعلام شرکت پوشش‌های نانوساختـار در سال ۹۱ با درک ضرورت برآورده کردن نیازهای مشتریان در سطح جهانی نسبت به اخذ گواهی‌نامه بین‌المللی سیستم مدیریت کیفیت ISO9001 به‌عنوان یکی از شاخص‌های استانداردسازی نحوه مدیریت کیفیت شرکت در سطح جهانی اقدام کرد. ۴ محصول دستگاه لایه‌نشانی کربن رومیزی، دستگاه لایه‌نشانی اسپاترینگ رومیزی، دستگاه لایه‌نشانی لیزر پالسی و دستگاه تبخیر حرارتی رومیزی گواهی نانومقیاس دارند.

دستگاه تبخیر حرارتی در خلأ با ابعاد بسیار مناسب در مدل رومیزی قادر است در طی کمتر از ۱۰ دقیقه به فشار موردنظر رسیده و عملیات لایه‌نشانی را از سه بوته یا بسکت مختلف شروع کند و اقدام به ساخت انواع لایه‌های مختلف نماید. قابلیت لایه‌نشانی از سه منبع تبخیر به صورت هم‌زمان، امکان ایجاد لایه‌های آلیاژی توسط این دستگاه را فراهم آورده است. DTT با دارا بودن امکان انتخاب منبع تبخیر (بوته – بسکت) موردنظر در حین لایه‌نشانی دارای قابلیت ساخت چندلایه‌ای است.

ساخت لایه‌های نازک از فلزات و دی‌الکتریک‌ها، نانو و میکروالکترونیک، لایه‌های نوری و چند لایه‌ای‌های اپتیکی، سلول‌های خورشیدی و سنسورهای لایه‌نازک از مهم‌ترین کاربردهای این دستگاه است.

دستگاه لایه نشان کربن رومیزی محصولی دیگر از پوشش‌های نانوساختار است، این دستگاه با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر به لایه‌نشانی کربن (نخ کربن) روی سطوح مختلف به روش تبخیر حرارتی است و عمدتاً به‌عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) در آزمایشگاه‌های تحقیقاتی مورداستفاده قرار می‌گیرد. این دستگاه قابلیت استفاده جهت آماده‌سازی نمونه‌ها به‌منظور مشاهده آن‌ها با میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی (FE-SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) و آنالیز نمونه‌ها با اشعه ایکس (EDX) را داراست.

PLD – T یک سیستم لایه‌نشانی خلأ بالا است که قادر به لایه‌نشانی رنج وسیعی از مواد با استفاده از لیزر پالسی و یا تبخیر حرارتی است. در روش لایه‌نشانی با استفاده از لیزر پالسی، منبع تبخیر (لیزر) در خارج از محفظه قرار داده می‌شود و پرتو لیزر از طریق یک پنجره تحت زاویه مناسب به سطح هدف که در حال دوران است، برخورد کرده و اتم‌های جدا شده از سطح هدف روی زیر لایه نشانده می‌شوند.

در این روش پالس لیزر با زمان خیزش کمتر از چند نانوثانیه به ماده موردنظر تابانده شده و موجب تبخیر ماده موردنظر بدون تغییر استوکیومتری می‌شود. این روش برای لایه‌نشانی مواد ترکیبی مثل نیترات‌ها، اکسیدها، پلیمرها، ابر شبکه‌ای‌ها و… بسیار مناسب است.

به علاوه سیستم دارای یک منبع تبخیر حرارتی با قابلیت فعال‌سازی سه بوته یا بسکت بوده و امکان انجام لایه‌نشانی به روش تبخیر حرارتی برای کاربردهای لایه‌نازک را نیز فراهم می‌کند.

محصول دیگر این شرکت مگنترون اسپاترینگ رومیزی تک کاتد با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب است که امکان لایه‌نشانی فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم را فراهم می‌کند و عمدتاً به‌عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی در آزمایشگاه‌های تحقیقاتی مورداستفاده قرار می‌گیرد. ایجاد پوشش یکنواخت با دانه‌بندی ریز از توانایی‌های این سیستم لایه‌نشانی است. با کنترل اتوماتیـک یا دستی فرایند خـلأسازی و لایه‌نشانی می‌توان لایه‌هایی با دقت ضخـامت ۱ نانومــتر تولید کرد.

سیستم لایه‌نشانی در خلأ مدل نیزDSR1 برای ایجاد لایه‌های نانومتری، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانوتکنولوژی و میکروالکترونیک بسیار قابل‌استفاده است. اصلی‌ترین کاربرد این دستگاه به‌عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های عایق به‌منظور مشاهده آن‌ها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) است. یکی دیگر از کاربردهای این دستگاه در آزمایشگاه‌های لایه‌نشانی، نانوتکنولوژی و الکترونیک بوده و ابزار آموزشی بسیار مناسبی برای آشنا کردن دانشجویان و دانش‌آموزان با موضوع خلأ، پلاسما و لایه‌نشانی است. این دستگاهها به کشورهای مختلف و دانشگاههایی مچون MIT، تگزاس و اکسفورد صادر شده است.

شما می‌توانید با مراجعه به پایگاه اینترنتی شرکـت پوشش‌های نانوساختـار با محصولات این شرکت بیشتر آشنا شوید.